[发明专利]超声扫描显微镜步进轴的双驱结构有效
| 申请号： | 201310283739.3 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN103353483A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陶利权;黄晓鹏;付纯鹤 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人： | 朱丽岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构及双驱脉冲参数匹配的调整方法，该双驱结构包括左驱动单元、右驱动单元、前支撑梁、后支撑梁以及X向横梁，前支撑梁、后支撑梁分别在前侧和后侧对接左驱动单元与右驱动单元，X向横梁连接左驱动单元与右驱动单元，本发明采用双侧驱动，并采用叠加方式构成高位的龙门式架构模式，避免通过单侧驱动易造成龙门式架构的扭曲变形及产生较大振动影响等问题，易保证关键零件加工的精度要求，又确保了整体架构的刚性要求。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 扫描 显微镜 步进 结构 | ||
【主权项】：
一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构，其特征在于，包括：基座（8）、左驱动单元（1）、右驱动单元（2）、前支撑梁（7）、后支撑梁（6）以及X向横梁（5），其中，后支撑梁（6）在后侧对接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），前支撑梁（7）在前侧对接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），X向横梁（5）连接左驱动单元（1）与右驱动单元（2），左驱动单元（1）和右驱动单元（2）驱动X向横梁（5）前后移动。
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