[发明专利]一种提高发光效率的氮化镓基LED外延生长方法无效
申请号: | 201310287139.4 | 申请日: | 2013-07-10 |
公开(公告)号: | CN103325896A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 郭丽彬;牛勇;李刚;刘仁锁 | 申请(专利权)人: | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/32;C30B25/02;C30B29/38 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种提高发光效率的氮化镓基LED外延生长方法,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、N型GaN层、多量子阱结构MQW、多量子阱有源层、低温P型GaN层、P型AlGaN层、高温P型GaN层和P型接触层,所述多量子阱有源层由3~20个Loop循环数的InyGa1-yN/GaN多量子阱组成,在所述3~20个Loop循环数的InyGa1-yN/GaN多量子阱有源层中的垒层进行P型掺杂。通过P型优化掺杂,使得量子阱中的电子和空穴浓度分布趋于均衡,有效调控电子和空穴的浓度分布,降低电子溢出浓度,改善量子阱中载流子辐射复合效率,提高芯片内量子效率,以实现发光效率的提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 发光 效率 氮化 led 外延 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种提高发光效率的氮化镓基LED外延生长方法,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、N型GaN层、多量子阱结构MQW、多量子阱有源层、低温P型GaN层、P型AlGaN层、高温P型GaN层和P型接触层,所述多量子阱有源层由3~20个Loop循环数的InyGa1‑yN/GaN 多量子阱组成,其中0
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