[发明专利]一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法有效

专利信息
申请号: 201310289987.9 申请日: 2013-07-10
公开(公告)号: CN103332682A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 吕鹏;张梓晗 申请(专利权)人: 合肥微晶材料科技有限公司
主分类号: C01B31/04 分类号: C01B31/04
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 何梅生
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于:用覆膜机将屏幕膜粘附在铜箔上表面的石墨烯上,然后刻蚀掉铜箔,形成石墨烯/屏幕膜的复合层,再利用覆膜机使石墨烯与屏幕膜分离,且石墨烯释放到目标基底上。本发明通过屏幕膜和覆膜机实现了石墨烯的大面积转移,且通过重复操作可以在目标基底上叠加转移多层石墨烯,方法简单易于操作,且所使用的仪器价格低廉。
搜索关键词: 一种 屏幕 覆膜机 叠加 转移 大面积 石墨 方法
【主权项】:
一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于按如下步骤进行:a、将上表面生长有石墨烯的铜箔剪裁至面积不大于100cm×100cm,将面积不小于所述铜箔的屏幕膜覆盖在所述铜箔的上表面;用覆膜机的滚轴在所述屏幕膜上加压,使屏幕膜粘附在铜箔上表面的石墨烯上,形成铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构;b、将所述铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构以所述屏幕膜朝上放入铜箔刻蚀液中刻蚀,去除铜箔基底,形成漂浮在铜箔刻蚀液表面的石墨烯/屏幕膜的复合层;然后将所述石墨烯/屏幕膜的复合层转移到去离子水中清洗并在室温下自然晾干,晾干时间不少于10分钟;c、将石墨烯/屏幕膜的复合层以石墨烯朝下放在目标基底上,将覆膜机加热到120℃‑160℃,用覆膜机的滚轴将石墨烯/屏幕膜的复合层和目标基底滚压在一起,石墨烯与屏幕膜分离并转移到目标基底上,调整覆膜机的滚轴速度使滚压过程的时间为20‑100秒;d、以转移有一层石墨烯的目标基底作为第二次转移的目标基底,重复步骤a、b和c,在目标基底的一层石墨烯上覆盖第二层石墨烯,依次类推,直至在目标基底上转移n层石墨烯,n不大于15。
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