[发明专利]气体传感器用声表面波敏感器件有效
| 申请号： | 201310290659.0 | 申请日： | 2013-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN103336051A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 杜波;马晋毅;江洪敏;杨靖 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体传感器用声表面波敏感器件。该气体传感器用声表面波敏感器件包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器。该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。本发明气体传感器用声表面波敏感器件的灵敏度较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感 器用 表面波 敏感 器件 | ||
【主权项】：
一种气体传感器用声表面波敏感器件，其包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器，其特征在于：该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。
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