[发明专利]一种光纤与光电子器件垂直耦合的方法无效
| 申请号： | 201310291215.9 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103345028A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 査国伟;牛智川;倪海桥;李密锋;喻颖;王莉娟;徐建星;尚向军;贺振宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤与光电子器件垂直耦合的方法，该方法包括：在光电子器件表面预涂一层光刻胶；利用光刻技术在光电子器件表面形成对准孔阵列；在光纤的端部剥去涂覆层露出光纤内芯；在显微镜及位移平台的辅助下将光纤端部露出的光纤内芯插入对准孔内，并用胶体固定。本发明特别适用于如单光子源等出光面积小、需要空间隔离的光电子器件的光纤耦合输出，具有空间分辨率高和技术简单可靠的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 光电子 器件 垂直 耦合 方法 | ||
【主权项】：
一种光纤与光电子器件垂直耦合的方法，其特征在于，该方法包括：在光电子器件(4)表面预涂一层光刻胶(2)；利用光刻技术在光电子器件(4)表面形成对准孔(3)阵列；在光纤(1)的端部剥去涂覆层露出光纤内芯；在显微镜及位移平台的辅助下将光纤(1)端部露出的光纤内芯插入对准孔(3)内，并用胶体固定。
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