[发明专利]全背接触太阳电池电极及其制作方法

摘要

本发明属于太阳电池领域，内容为提出了一种全背接触太阳电池电极及其制作方法，该电极特点是其由细栅金属电极一、细栅金属电极二、主栅电极一、主栅电极二及介电层一组成，上述组成部分全部位于衬底主要表面一；细栅金属电极一和细栅金属电极二呈叉指状交替排布；主栅电极一、主栅电极二分别与细栅金属电极一、细栅金属电极二呈交叉排布；主栅电极一和细栅金属电极二交叉重叠的部分以及主栅电极二和细栅金属电极一交叉重叠的部分通过介电层一隔离；主栅电极一和细栅金属电极一以及主栅电极二和细栅金属电极二在两者交叉重叠的位置直接接触。与现有技术相比，本发明消除了电极电学遮光的影响，并降低了电极的线电阻损失，提高了器件性能。

主权项

一种全背接触太阳电池电极，该电极由细栅金属电极一(31)、细栅金属电极二(32)、主栅电极一(33)、主栅电极二(34)和介电层一(35)组成；所述细栅金属电极一(31)、细栅金属电极二(32)和主栅电极一(33)、主栅电极二(34)全部位于半导体衬底的表面一(30)；所述细栅金属电极一(31)和细栅金属电极二(32)呈叉指状交替排布；所述主栅电极一(33)分别与细栅金属电极一(31)、细栅金属电极二(32)呈交叉排布；所述主栅电极二(34)分别与细栅金属电极一(31)、细栅金属电极二(32)呈交叉排布；其特征在于：所述表面一(30)上设有一介电层一(35)，所述介电层一(35)位于主栅电极一(33)和细栅金属电极二(32)之间以及位于主栅电极二(34)和细栅金属电极一(31)之间。