[发明专利]用于化学气相沉积的反应装置及反应制作工艺有效

专利信息
申请号: 201310292652.2 申请日: 2013-07-12
公开(公告)号: CN104233230A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 潘益宗;杨慕震 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开一种用于化学气相沉积的反应装置及反应制作工艺,反应装置包括一反应室、一托盘、一进气管单元以及一排气管。托盘配置于反应室中。进气管单元包括多个进料口,此些进料口水平朝向托盘的周围区域,以输入至少一反应气体至反应室,此至少一反应气体被引导由托盘的周围区域沿着其表面移动至托盘的中央。排气管包括一出料口,出料口的位置对应于托盘的中央,以将流动至托盘的中央的反应气体排出于反应室。
搜索关键词: 用于 化学 沉积 反应 装置 制作 工艺
【主权项】:
一种用于化学气相沉积的反应装置,包括:反应室;托盘,配置于该反应室中;进气管单元,包括至少一个进料口,该进料口水平朝向该托盘的周围区域,以输入至少一反应气体至该反应室,该至少一反应气体被引导由该托盘的周围区域沿着其表面移动至该托盘的中央;以及排气管,包括一出料口,该出料口的位置对应于该托盘的中央,以将流动至该托盘的中央的气体排出于该反应室。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院,未经财团法人工业技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310292652.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top