[发明专利]微透镜阵列模具的制作方法

摘要

本发明公开了一种微透镜阵列模具的制作方法，主要包括如下步骤：一、采用UV-LIGA工艺制成表面具有柱状微细孔阵列结构的金属镍模具；二、在真空环境下将UV固化胶涂覆于镍模具的柱状微细孔阵列之内；三、旋转上述所得产品，使一部分UV固化胶均匀地旋转出微细孔之外，形成稳定的凹面形状，之后利用紫外光源固化UV固化胶即可获取所述的微透镜阵列模具。该方法由于直接采用旋转的方式，微透镜模具腔体具有良好的表面平整度，从而保证制成微透镜阵列的光学特性。且本发明可通过调节UV胶的粘度、旋转速率等方式对微透镜的矢高及曲率进行控制，从而调节微透镜的焦距，增加微透镜阵列制作的自由度。

主权项

一种微透镜阵列模具的制作方法，其特征在于包括如下步骤：步骤一：采用UV‑LIGA工艺制成表面具有柱状微细孔阵列结构的金属镍模具；一．SU8胶微细柱阵列的制作：首先在硅基板上涂布SU8胶，然后利用光刻技术制作SU8胶微细柱阵列；二．SU8胶微细柱的表面金属化处理：在SU8胶微细柱表面及硅基板上表面进行金属化处理，制作一层电铸种子层；三、利用微电铸工艺在电铸种子层表面电铸镍材料，形成金属镍模具；四、SU8胶微细柱的脱除：先将硅基板从镍模具上剥离，然后通过SU8胶专用去胶剂去除SU8胶微细柱，从而在镍模具上形成柱状微细孔阵列，最终制成所述的具有柱状微细孔阵列的镍模具；步骤二：在真空环境下将UV固化胶涂覆于镍模具的柱状微细孔阵列之内；步骤三：旋转步骤三所得产品，使一部分UV固化胶均匀地旋转出微细孔之外，形成稳定的凹面形状，之后利用紫外光源固化UV固化胶，即可获取所述的微透镜阵列模具。