[发明专利]探针台旋转升降机构

摘要

一种探针台旋转升降机构，包括升降控制装置、旋转控制装置和承片装置；升降控制装置的升降电机的转轴和升降丝杠的一端通过联轴器固定连接，升降螺母上设有内螺纹滚道，升降丝杠上设有与内螺纹滚道匹配的外螺纹滚道，升降螺母套设在升降丝杠上，滚珠花键升降杆和升降螺母固定连接，滚珠花键升降杆远离升降电机的一端与承片装置固定连接，滚珠花键升降杆安装在滚珠花键座的内部。承片装置固定在旋转控制装置上，承片装置和旋转控制装置作为一个整体固定在升降控制装置上。这种探针台旋转升降机构的滚珠花键座和滚珠花键升降杆组成的滚珠花键副是一个直线运动的构件，具备很高的直线运动的直线度，升降螺母与升降丝杆的螺纹接触紧密。

主权项

一种探针台旋转升降机构，其特征在于，包括升降控制装置、旋转控制装置和承片装置；所述升降控制装置包括升降电机、联轴器、升降丝杠、升降螺母、滚珠花键座、滚珠花键升降杆，所述升降电机的转轴和所述升降丝杠的一端通过所述联轴器固定连接，所述升降螺母上设有内螺纹滚道，所述升降丝杠上设有与所述内螺纹滚道匹配的外螺纹滚道，所述升降螺母套设在所述升降丝杠上，所述滚珠花键升降杆和所述升降螺母固定连接，所述滚珠花键升降杆远离所述升降电机的一端与所述承片装置固定连接，所述滚珠花键升降杆安装在所述滚珠花键座的内部；所述承片装置固定在所述旋转控制装置上，所述承片装置和所述旋转控制装置作为一个整体固定在所述升降控制装置上。