[发明专利]背照式图像传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种背照式图像传感器及其制作方法，所述背照式图像传感器包括：硅片层，其包括用于感光产生电信号的光电二极管，所述硅片层具有正表面和背表面；后端层，其设置于所述硅片层的正表面，所述后端层包括晶体管栅极、栅氧化层、导线层和介电层；入光层，其包括微透镜层和滤光膜层，所述入光层设置于所述硅片层背表面；所述后端层还包括：吸光层，其设置于所述后端层预设位置，所述吸光层用于吸收从硅片层透射过来的光线。本发明采用的吸光层吸收从器件层透射过来的光线，由此大大降低透射光线被反射到其他像素的机会，从而降低相邻像素之间的相互串扰。

主权项

一种背照式图像传感器，包括：硅片层，其包括用于感光产生电信号的光电二极管，所述硅片层具有正表面和背表面；后端层，其设置于所述硅片层的正表面，所述后端层包括晶体管栅极、栅氧化层、导线层和介电层；入光层，其包括微透镜层和滤光膜层，所述入光层设置于所述硅片层背表面；其特征在于，所述后端层还包括：吸光层，其设置于所述后端层预设位置，所述吸光层用于吸收从硅片层透射过来的光线。