[发明专利]铸锭晶种熔化高度控制方法及多晶硅铸锭炉无效
| 申请号： | 201310295843.4 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103361721A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 周之燕;杨细全;胡亚兰;万美;郑玉芹 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 付涛 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铸锭晶种熔化高度控制方法，包括以下步骤：控制热场，使铺设在坩埚内的晶种及晶种上方的多晶硅原料自上至下逐步熔化；利用热电偶获取坩埚侧壁上的温度突变信号；根据获取到的信号判断晶种熔化的高度，在晶种熔化至设定高度时控制热场由熔化阶段跳步进入长晶阶段。上述铸锭晶种熔化高度控制方法中，通过热电偶检测坩埚侧壁上的温度突变信号，可判断出硅液熔化高度，从而可以在晶种熔化至设定高度时控制热场从熔化阶段跳步进入长晶阶段，从而晶种剩余高度得以控制，该方法具有精度高、成本低的特点。另外还提出一种可实施上述方法的多晶硅铸锭炉。 | ||
| 搜索关键词： | 铸锭 熔化 高度 控制 方法 多晶 | ||
【主权项】：
一种铸锭晶种熔化高度控制方法，其特征在于，包括以下步骤：控制热场，使铺设在坩埚内的晶种及晶种上方的多晶硅原料自上至下逐步熔化；利用热电偶获取坩埚侧壁上的温度突变信号；根据获取到的信号判断晶种熔化的高度，在晶种熔化至设定高度时控制热场由熔化阶段跳步进入长晶阶段。
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