[发明专利]一种应用于物联网终端的LC无源无线微型湿度传感器

摘要

本发明公开了一种应用于物联网终端的LC无源无线微型湿度传感器，该LC无源无线微型湿度传感器第一层为柔性基板，第二层为LC金属层，第三层为湿敏介质层，第四层为石蜡保护层，柔性基板采用柔性PCB材料及PI材料制成，LC金属层设置在柔性基板的上部，采用铜金属材料制成，湿敏介质层设置在LC金属层的上部，石蜡保护层设置在湿敏介质层的上部，用于进行绝缘隔离；本发明可通过调整柔性基板、LC金属层和湿敏介质层的厚度、叉指电容组数、叉指电容电极宽度、长度和间距、电感的圈数、电感的结构尺寸，使湿度传感器的谐振频率、测量范围、灵敏度及精度可控，从而满足不同测量环境对湿度传感器的功能要求。

主权项

一种应用于物联网终端的LC无源无线微型湿度传感器，其特征在于，该LC无源无线微型湿度传感器包括：柔性基板，采用柔性PCB材料及PI材料制成；LC金属层，设置在所述柔性基板的上部，采用铜金属材料制成；湿敏介质层，设置在所述LC金属层的上部；石蜡保护层，设置在所述湿敏介质层的上部，用于进行绝缘隔离。