[发明专利]半导体激光合束装置有效
申请号: | 201310299287.8 | 申请日: | 2013-07-15 |
公开(公告)号: | CN104300368B | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 余勤跃;扈金富 | 申请(专利权)人: | 温州泛波激光有限公司 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/14 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 宋鹰武 |
地址: | 325001 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体激光合束装置,包括:半导体激光堆阵,以及沿光路依次设置的快轴准直镜组、第一柱面镜、第一衍射光栅、第二柱面镜,和窄条部分反射镜,所述第一衍射光栅放置为与所述第一柱面镜的光轴成30‑60°的角度。本发明的利用窄条部分反射镜进行外腔反馈,结合多点波谱合束,有效改善了半导体激光光束质量。 | ||
搜索关键词: | 半导体 激光 束装 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光合束装置,包括:半导体激光堆阵,以及沿光路依次设置的快轴准直镜组、第一柱面镜、第一衍射光栅、第二柱面镜,和窄条部分反射镜,所述第一衍射光栅放置为与所述第一柱面镜的光轴成30-60°的角度;所述窄条部分反射镜的反射区域宽度为50um-200um;所述窄条部分反射镜的反射区域为矩形分布或高斯型分布;所述窄条部分反射镜的反射区域的反射率为5-15%,增透区域T镀有增透膜。
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