[发明专利]一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备有效
| 申请号： | 201310299429.0 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104296887B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;吴狄;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备，通过在测温装置的绝缘管内部设置热电极固定装置，将所述两根热电极与所述绝缘管保持相对固定，从而使得测量端与待测温物体的表面接触良好，避免了日常设备维护时，热电极由于维护过程中的拖拽与绝缘管发生滑移，从而影响测量结果的现象，保证了测量结果的稳定性和准确性，同时在绝缘管下方设置一弹簧，通过弹簧的弹力使得测量端与被测物体接触良好的同时，避免了测温装置与被测温物体的刚性接触导致的被测温物体破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 稳定 测温 装置 及其 所在 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种实现稳定测温的测温装置，包括两根材料不同的热电极，以及所述热电极的结合端，其特征在于：所述热电极外环绕设置一绝缘管，所述绝缘管内设置固定装置，用以将两根热电极与所述绝缘管固定连接；所述热电极的结合端包括一测量端和一自由端，所述固定装置包括至少两个与所述绝缘管固定连接的固定环，所述固定环靠近所述测量端设置，该两根热电极分别位于一个固定环内。
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