[发明专利]一种制备铜铝硫薄膜的方法无效
申请号: | 201310301210.X | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103449733A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 李静;高稳成;刘科高;石磊;许斌 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
主分类号: | C03C17/22 | 分类号: | C03C17/22;H01L31/18;H01L31/032 |
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地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种制备铜铝硫薄膜的方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤获得,首先清洗玻璃基片,然后将CuCl2·2H2O、Al(NO3)3·9H2O、CH4N2S放入溶剂中,用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将此密闭容器进行加热后取出样品并干燥,得到铜铝硫光电薄膜。本发明不需要高温真空条件、对设备仪器要求低并容易操作、生产成本低、生产效率高等优点。所得铜铝硫光电薄膜择优取向生长且有较好的连续性和均匀性,这种新工艺为制备高性能的铜铝硫光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 铜铝硫 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种制备铜铝硫薄膜的方法,包括如下步骤: a.玻璃基片的清洗; b.将0.8~1.5份CuCl2·2H2O、1.7~3.3份Al(NO3)3·9H2O、及1.0~2.5份CH4N2S放入30~150份溶剂中均匀混合; c.在匀胶机上吸附基片并在表面均匀涂抹步骤b所述溶液,后烘干,得到前驱体薄膜样品; d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有1.791份水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触;将装有前驱薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~20小时,然后冷却到室温取出; e.将步骤d所得产物,进行干燥,得到铜铝硫薄膜。
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