[发明专利]双源ECR等离子体源装置无效
| 申请号： | 201310303182.5 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103415134A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张书锋;宋瑞海;张明志;贾军伟;柴昊 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 吴小灿 |
| 地址： | 100086 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 双源ECR等离子体源装置，从而为空间等离子体探测器提供准确可靠的数据，保证量值传递的准确，保证探测器在型号上的成功应用。其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。 | ||
| 搜索关键词： | 双源 ecr 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
双源ECR等离子体源装置，其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。
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