[发明专利]一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法有效
申请号: | 201310303245.7 | 申请日: | 2013-07-19 |
公开(公告)号: | CN103382031A | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 张兴材 | 申请(专利权)人: | 张兴材 |
主分类号: | C01B31/36 | 分类号: | C01B31/36 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 张贵宾 |
地址: | 256200 山东省滨州*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及固相合成碳化硅微粉技术领域,特别公开了一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法。该SiC微粉合成炉,包括通过钢壳包裹、内部设置合成腔体的主炉体,主炉体连接自动控制与检测系统,主炉体外壳上布置有上法兰盖和下法兰盖,其特征在于:主炉体内设置有对应布置的石墨电极和安装在底部的热电偶,主炉体的下法兰盖上布置有两个电极孔,两个电极孔上安装有与石墨电极连接的水冷电极,上法兰盖上部设置有连接真空系统的真空管道。本发明结构紧凑,自动化程度高,环保、节能效果明显,产品产率高,吨SiC成本低,能实现安全、稳定的收集CO气体,适于广泛推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 sic 合成 及其 收集 方法 | ||
【主权项】:
一种SiC微粉合成炉,包括通过钢壳(1)包裹、内部设置合成腔体的主炉体,主炉体连接自动控制与检测系统,主炉体外壳上布置有上法兰盖(2)和下法兰盖(3),其特征在于:主炉体由外向内依次设置有钢壳(1)、保温层(4)和耐火层(5),主炉体内设置有对应布置的石墨电极(6)和安装在底部的热电偶(7),主炉体的下法兰盖(3)上布置有两个电极孔,两个电极孔上安装有与石墨电极(6)连接的水冷电极(8),上法兰盖(2)上部设置有连接真空系统(9)的真空管道(10)。
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