[发明专利]一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备无效
| 申请号： | 201310303597.2 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103388125A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘战合 | 申请（专利权）人： | 有度功能薄膜材料扬州有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 江苏银创律师事务所 32242 | 代理人： | 何震花 |
| 地址： | 225800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，由多个镀膜腔体单元串接而成，相邻镀膜腔体单元之间设有工艺隔离腔体；镀膜腔体单元与工艺隔离腔体之间设有隔离阀。镀膜腔体单元，包括基座、靶材架、背板座、玻璃架；靶材架、背板座安装于基座上，围成镀膜腔；靶材架上设有靶材阴极，靶材架与基座之间设有开合装置；所述玻璃架设于镀膜腔内，为立式结构，与垂直面具有0－10度角。所述开合装置由液压或气压驱动。玻璃架设有玻璃传送装置。本发明生产节能低辐射玻璃时，玻璃为立式放置，减少了杂质在玻璃表面的沉积，减少了杂质对薄膜的伤害，从而增强薄膜的附着力；同时该结构还减少了杂质在靶材阴极上的沉积导致的弧光放电现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 辐射 玻璃 立式 磁控溅射 生产 设备 | ||
【主权项】：
一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，包括镀膜腔体单元，其特征在于，所述的镀膜腔体单元，包括基座、靶材架、背板座、玻璃架；靶材架、背板座安装于基座上，围成镀膜腔；靶材架上设有靶材阴极，靶材架与基座之间设有开合装置；所述玻璃架设于镀膜腔内，为立式结构。
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