[发明专利]一种可运动机械臂上判定晶片存在的方法有效

申请号：	201310303698.X	申请日：	2013-07-18
公开（公告）号：	CN103794525A	公开（公告）日：	2014-05-14
发明（设计）人：	钟武	申请（专利权）人：	北京中科信电子装备有限公司
主分类号：	H01L21/66	分类号：	H01L21/66
代理公司：	长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113	代理人：	马强
地址：	101111 北京市通***	国省代码：	北京;11
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摘要：	本发明公开了一种可运动机械臂上判定晶片存在的方法，包括：激光接收器(1)、激光发送器(2)、采集控制器(3)、微型荷重传感器(4)、机械爪(5)、机械臂(6)和机械臂运动控制器(7)。机械臂运动控制器(7)控制机械臂(6)收缩到HOME位置时，我们可以通过激光传感系统感知晶片是否在机械爪(5)上。采集控制器(3)控制激光发送器(2)发射激光。由于机械爪(5)无遮挡部分，导致激光接收器(1)不会接收到反射的激光，从而采集控制器(3)不能收到激光接收器(1)的反馈信号，判定晶片不在机械爪(5)上。如果采集控制器(3)能接受到激光接收器(1)的反馈信号，则采集控制器(3)判定晶片在机械爪(5)上。当机械臂(6)伸展后，采集控制器(3)通过控制激光发送器(2)发射激光来判定是否存在晶片的方法失效。此时，采集控制器(3)将根据微型荷重传感器(4)的感应信号，结合机械臂(6)伸展前的晶片状态来判定机械爪(5)上是否存在晶片。
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【主权项】：

一种可运动机械臂上判定晶片存在的方法，包括：激光接收器(1)、激光发送器(2)、采集控制器(3)、微型荷重传感器(4)、机械爪(5)、机械臂(6)和机械臂运动控制器(7)。机械臂运动控制器(7)控制机械臂(6)收缩到HOME位置时，我们可以通过激光传感系统感知晶片是否在机械爪(5)上。采集控制器(3)控制激光发送器(2)发射激光。由于机械爪(5)无遮挡部分，导致激光接收器(1)不会接收到反射的激光，从而采集控制器(3)不能收到激光接收器(1)的反馈信号，判定晶片不在机械爪(5)上。如果采集控制器(3)能接受到激光接收器(1)的反馈信号，则采集控制器(3)判定晶片在机械爪(5)上。当机械臂(6)伸展后，采集控制器(3)通过控制激光发送器(2)发射激光来判定是否存在晶片的方法会失效。此时，采集控制器(3)将根据微型荷重传感器(4)的感应信号，结合机械臂(6)伸展前的晶片状态来判定机械爪(5)上是否存在晶片。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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