[发明专利]频率可调的MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201310306960.6 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN103338022A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 骆伟;赵晖;袁泉;杨晋玲;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各电极之间有一间隙，各电极与谐振单元之间直接接触或有一间隙。本发明在不增加结构复杂性的情况下，实现多种不同频率输出。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 可调 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各电极之间有一间隙，各电极与谐振单元之间直接接触或有一间隙。
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