[发明专利]一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法

摘要

本发明提供一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法，将两种不同的平场光栅G1和G2做在同一基底上，形成一个整体的并联平场光栅。该光栅工作在掠入射条件下，适用于软X射线波段。根据凹面光栅的像差理论，优化G1和G2的工作参数（入射距离、入射角度、成像位置），使其完全相同，因此二者可以同时工作。并联平场光栅的工作波段是二者之和，可以有效的扩展光栅的工作波段。并联平场光栅解决了平场光栅工作波段较窄的问题，为同时测量软X射线较宽光谱提供了一种有效技术。

主权项

一种工作在软X射线波段的并联平场光栅的设计方法，其特征在于，对G1和G2两组线密度不同的光栅，通过曝光—刻蚀—再爆光—再刻蚀的方法将两组光栅做在同一基底上形成并联平场光栅，其中光栅的基底面为球面；该并联平场光栅要求两组光栅具有相同的入射距离、入射角度、成像位置和球面基底半径，以便实现两组光栅同时工作，实现波段的扩展，采用遗传算法对光栅的入射距离、入射角度和成像位置这些工作参数，以及光栅的基底半径、中心线密度和光栅的线密度变化系数这些光栅参数进行优化，确定各项参数，并联平场光栅在保证波段扩展的前提下，与现有的平场光栅具有相当的分辨特性。