[发明专利]多晶硅定向凝固装置有效
| 申请号： | 201310307458.7 | 申请日： | 2013-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN103351002A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;温书涛;陈磊;袁涛 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，保温套筒的高度为石英坩埚高度的1.5～2倍，拉锭机构的上部为石墨螺旋板，石墨螺旋板内置的螺旋通道与拉锭机构的进气口相连通，石墨螺旋板的两侧边缘处开有的出气口。该装置能够很好的将石英坩埚侧壁在下拉过程中的热辐射拦截，有效的降低了侧壁的辐射散热，使定向凝固效果较常规定向凝固方式更好。该装置的升温时间短，保温时能耗小，同时冷却速度可控制，且晶体生长较常规的冷却方式好，能更好的实现定向凝固的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 定向 凝固 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于保温套筒的高度为石英坩埚高度的1.5～2倍，拉锭机构的上部为石墨螺旋板，石墨螺旋板内置的螺旋通道与拉锭机构的进气口相连通，石墨螺旋板的两侧边缘处开有的出气口。
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