[发明专利]金属蚀刻剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201310310025.7 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN103409753A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 徐志坚 | 申请（专利权）人： | 吴江龙硕金属制品有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属蚀刻剂及其制备方法。金属蚀刻剂包括以下重量份计的原料：羧甲基纤维素钠10-20份、硼酸30-40份、富马酸钠20-30份、甲基丁酸酯10-20份、氰化钠10-20份、氯化苯甲酰4-10份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠10-15份、联苯胺黄2-10份、硬脂酸钡10-20份、偶氮二异丁腈20-25份。本发明的刻蚀速率高达70nm/min以上，而一般的碱性氯化铜蚀刻液的刻蚀速率仅为2nm/min，因此，本发明的金属蚀刻剂的刻蚀速率远远高于一般的刻蚀液，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属蚀刻剂，其特征在于包括以下重量份计的原料：羧甲基纤维素钠10‑20份、硼酸30‑40份、富马酸钠20‑30份、甲基丁酸酯10‑20份、氰化钠10‑20份、氯化苯甲酰4‑10份、N‑氯化对甲基苯磺酰胺钠10‑15份、联苯胺黄2‑10份、硬脂酸钡10‑20份、偶氮二异丁腈20‑25份。
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