[发明专利]使用合并光谱数据的光谱技术在审

专利信息
申请号: 201310310310.9 申请日: 2013-07-23
公开(公告)号: CN103575755A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: S.R.M.斯托克斯 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 蒋骏;刘春元
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及使用合并光谱数据的光谱技术。一种使用光谱装置检查样品的方法,包括以下步骤:-将样品安装在样品架上;-将辐射的聚焦输入射束引导到样品上的位置上,从而产生使受激光子辐射的通量从所述位置放射的相互作用;-使用多通道光子计数检测器检查所述通量,从而针对所述位置累积测量光谱;-针对样品上的一系列连续位置,自动重复所述引导和检查步骤,该方法包括以下步骤:-选择将影响所述受激光子辐射通量的大小的输入射束的射束参数;-针对样品上第一组位置内的每个位置,使用所述射束参数的第一值来积累光谱;-针对样品上第二组位置内的每个位置,使用与所述第一值不同的所述射束参数的第二值来积累光谱。
搜索关键词: 使用 合并 光谱 数据 技术
【主权项】:
一种使用光谱装置检查样品的方法,包括以下步骤:‑ 将所述样品安装在样品架上;‑ 将辐射的聚焦输入射束引导到所述样品上的位置上,从而产生使受激光子辐射的通量从所述位置放射的相互作用;‑ 使用多通道光子计数检测器检查所述通量,从而针对所述位置积累测量光谱;‑ 针对所述样品上的一系列连续位置,自动重复所述引导和检查步骤,其特征在于下列步骤:‑ 选择将影响所述受激光子辐射通量的大小的输入射束的射束参数;‑ 针对所述样品上第一组位置内的每个位置,使用所述射束参数的第一值来积累光谱;‑ 针对所述样品上第二组位置内的每个位置,使用与所述第一值不同的所述射束参数的第二值来积累光谱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司,未经FEI公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310310310.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top