[发明专利]使用合并光谱数据的光谱技术在审
申请号: | 201310310310.9 | 申请日: | 2013-07-23 |
公开(公告)号: | CN103575755A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | S.R.M.斯托克斯 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N23/22 | 分类号: | G01N23/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 蒋骏;刘春元 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及使用合并光谱数据的光谱技术。一种使用光谱装置检查样品的方法,包括以下步骤:-将样品安装在样品架上;-将辐射的聚焦输入射束引导到样品上的位置上,从而产生使受激光子辐射的通量从所述位置放射的相互作用;-使用多通道光子计数检测器检查所述通量,从而针对所述位置累积测量光谱;-针对样品上的一系列连续位置,自动重复所述引导和检查步骤,该方法包括以下步骤:-选择将影响所述受激光子辐射通量的大小的输入射束的射束参数;-针对样品上第一组位置内的每个位置,使用所述射束参数的第一值来积累光谱;-针对样品上第二组位置内的每个位置,使用与所述第一值不同的所述射束参数的第二值来积累光谱。 | ||
搜索关键词: | 使用 合并 光谱 数据 技术 | ||
【主权项】:
一种使用光谱装置检查样品的方法,包括以下步骤:‑ 将所述样品安装在样品架上;‑ 将辐射的聚焦输入射束引导到所述样品上的位置上,从而产生使受激光子辐射的通量从所述位置放射的相互作用;‑ 使用多通道光子计数检测器检查所述通量,从而针对所述位置积累测量光谱;‑ 针对所述样品上的一系列连续位置,自动重复所述引导和检查步骤,其特征在于下列步骤:‑ 选择将影响所述受激光子辐射通量的大小的输入射束的射束参数;‑ 针对所述样品上第一组位置内的每个位置,使用所述射束参数的第一值来积累光谱;‑ 针对所述样品上第二组位置内的每个位置,使用与所述第一值不同的所述射束参数的第二值来积累光谱。
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