[发明专利]微机械真空传感器

摘要

本发明涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面单元之间存在间隙；微桥面单元的上表面上设置有电阻式温敏涂层，所述微桥面单元上表面的相对两侧分别设置有桥面电气连接走线，第一导热桥臂及第二导热桥臂上分别设置有与相应的桥面电气连接走线相连的桥臂电气连接走线，两条桥臂电气连接走线分别延伸至相应的支撑点。本发明通过测量桥面电阻推算环境的真空度，具有灵敏度高、体型小以及和CMOS工艺兼容等显著优点。

主权项

一种微机械真空传感器，其特征是：包括微桥面单元(11)，所述微桥面单元(11)相对的两端分别设置有与所述微桥面单元(11)相连的第一导热桥臂(3)及第二导热桥臂(9)，所述第一导热桥臂(3)的自由端通过第一连接桥墩(2)与第一支撑点(1)相连，所述第二导热桥臂(9)的自由端通过第二连接桥墩(8)与第二支撑点(7)相连，所述第一支撑点(1)及所述第二支撑点(7)位于所述微桥面单元(11)的下方并与所述微桥面单元(11)之间存在间隙(12)；所述微桥面单元(11)的上表面上设置有电阻式温敏涂层(6)，所述微桥面单元(11)上表面的相对两侧(10)分别设置有桥面电气连接走线(5)，所述第一导热桥臂(3)及所述第二导热桥臂(9)上分别设置有与相应的所述桥面电气连接走线(5)相连的桥臂电气连接走线(4)，两条所述桥臂电气连接走线(4)分别通过相应的连接桥墩延伸至相应的支撑点。