[发明专利]一种低渗透性热解碳涂层的制备方法以及化学气相沉积炉

摘要

本发明提供一种低渗透性热解碳涂层的制备方法以及化学气相沉积炉。所述方法包括：1）提供一种具有炉体的化学气相沉积炉，所述炉体内贯穿设有刚玉管；2）将待沉积的核石墨基体悬空设置于刚玉管中；3）向刚玉管中通入氩气，并将炉体升温至1050～1300℃；4）继续通入氩气，并通入甲烷，设置甲烷和氩气的质量比为（750～1125）:（250～375）；或停止通入氩气，通入甲烷和氢气，设置甲烷和氢气的质量比为（800～1300）:（160～800）；5）关闭甲烷和氢气，继续通氩气，制得低渗透性热解碳涂层。本发明通过对气相沉积工艺各种参数的优化，制备出一种低渗透性热解碳涂层材料，尤其适用于核反应堆使用。

主权项

一种低渗透性热解碳涂层的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1）提供一种具有炉体（1）的化学气相沉积炉，所述炉体（1）内贯穿设置有刚玉管（2）；2）将待沉积的核石墨基体（4）悬空设置于所述刚玉管（2）中；3）向所述刚玉管（2）中通入氩气，并将所述炉体（1）升温至1050～1300℃；4）继续通入氩气，并通入甲烷，设置甲烷和氩气的质量比为（750～1125）:（250～375）；或停止通入氩气，通入甲烷和氢气，设置甲烷和氢气的质量比为（800～1300）:（160～800）；5）关闭甲烷，继续保持通入氩气，使得所述核石墨基体（4）随炉冷却，从而在所述核石墨基体（4）上得到低渗透性热解碳涂层；或关闭甲烷和氢气，改为通入氩气，使得所述核石墨基体（4）随炉冷却，从而在所述核石墨基体（4）上得到低渗透性热解碳涂层。