[发明专利]一种扩散炉的炉门密封装置有效
| 申请号： | 201310312585.6 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103363808A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 曹文;朱廷刚;朱廷勇 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，第一水套套设在管件上，第二水套连接在管件的端部并与第一水套相连接，炉门连接在第二水套上，第一密封圈设置在第一水套、第二水套之间，第二密封圈设置在第二水套与管件的端部之间，第三密封圈设置在第二水套与炉门之间。本发明通过在炉门与管件之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门与管件之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，大大提高了密封性的同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉门 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。
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