[发明专利]一种半导体测量设备在审
| 申请号： | 201310312631.2 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104344849A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 郭一鸣;郭亚娟;周万泉 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体测量设备，所述半导体测量设备包括：用于检测现场参数的至少一个传感器；微控制器，其与所述至少一个传感器通信地连接，其中，所述微控制器支持无线通信协议并且所述传感器与所述微控制器通过无线通信协议通信，以便采集所述半导体测量设备各处的传感器数据。依据本发明的半导体测量设备采用无线通信协议取代了传统的有线电缆，从而大大降低了半导体测量设备的结构上的复杂度，便于组网，在某个传感器发生故障时也能够比较简单地实现故障元器件的更换，而无需涉及复杂的布线问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种半导体测量设备，其特征在于，所述半导体测量设备包括：用于检测现场参数的至少一个传感器；微控制器，其与所述至少一个传感器通信地连接，其中，所述微控制器支持无线通信协议并且所述传感器与所述微控制器通过无线通信协议通信，以便采集所述半导体测量设备各处的传感器数据。
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