[发明专利]硅片切割的水清洗系统无效

专利信息
申请号: 201310312931.0 申请日: 2013-07-24
公开(公告)号: CN103418565A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 王谊 申请(专利权)人: 镇江大成新能源有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 212132 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种硅片切割的水清洗系统,包括预清洗机、蓄水池、水泵、储水桶,所述预清洗机的排水口、所述蓄水池、所述水泵、所述储水桶依次通过管道连接,且所述储水桶通过管道连入所述预清洗机的进水口。本发明的优点是在解决了预清洗机水源问题的基础上,利用预清洗机清洗硅片后排放的废水,通过管道连接至蓄水池,经由水泵将水储存在储水桶内,在预清洗机需要工作时就可利用储水桶内的水冲洗硅片,节省的大量的水资源。
搜索关键词: 硅片 切割 清洗 系统
【主权项】:
一种硅片切割的水清洗系统,其特征在于:包括预清洗机(1)、蓄水池(2)、水泵(3)、储水桶(4),所述预清洗机(1)的排水口、所述蓄水池(2)、所述水泵(3)、所述储水桶(4)依次通过管道连接,且所述储水桶(4)通过管道连入所述预清洗机(1)的进水口。
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