[发明专利]玻璃基板的清洗方法及实现该方法的装置有效
| 申请号： | 201310314174.0 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103341405A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孙世英 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B03C1/30 | 分类号： | B03C1/30;B08B5/02;B08B5/04 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的清洗方法及实现该方法的装置，所述方法包括：步骤1、提供一传送平台（20）及待清洗的玻璃基板（40）；步骤2、将待清洗的玻璃基板（40）置于该传送平台（20）上；步骤3、提供两个吹气装置（60）；步骤4、该两个吹气装置（60）向待清洗的玻璃基板（40）吹气，以使得附着于待清洗的玻璃基板（40）上的杂质（42）脱离玻璃基板（40）；步骤5、提供吸附装置（80），该吸附装置（80)包括吸气装置（82)及磁吸装置（84）；步骤6、所述吸气装置（82）对待清洗的玻璃基板（40）进行吸气，且该磁吸装置（84）对待清洗的玻璃基板（40）上的磁性杂质产生磁吸力，进而将待清洗的玻璃基板（40）上的杂质（42）吸入吸附装置（80）内。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 清洗 方法 实现 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供一传送平台（20）及待清洗的玻璃基板（40），所述待清洗的玻璃基板（40）上附着有杂质（42），所述杂质（42）包括磁性杂质与非磁性杂质；步骤2、将待清洗的玻璃基板（40）置于该传送平台（20）上；步骤3、提供两个吹气装置（60），该两吹气装置（60）间隔设置于传送平台（20）上方；步骤4、该两个吹气装置（60）向待清洗的玻璃基板（40）吹气，以使得附着于待清洗的玻璃基板（40）上的杂质（42）脱离玻璃基板（40）；步骤5、提供吸附装置（80），该吸附装置（80)包括吸气装置（82)及磁吸装置（84），该吸气装置（82）包括置于两吹气装置（60）之间的吸气口（822），所述磁吸装置（84）位于吸气装置（82)吸气口（822)内；步骤6、所述吸气装置（82）对待清洗的玻璃基板（40）进行吸气，且该磁吸装置（84）对待清洗的玻璃基板（40）上的磁性杂质产生磁吸力，进而将待清洗的玻璃基板（40）上的杂质（42）吸入吸附装置（80）内。
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