[发明专利]一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备

摘要

一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备，该设备包括：控制单元；图形衬底制备单元，图形衬底制备单元主要分为：高、低温酸腐模组，图形掩膜制备模组和清洗模组。本发明引入了进行了特殊设计的BOE腐蚀槽，首先从功能上实现了图形掩膜图形化的制备功能，同时根据其制备工艺特点，设计了BOE腐蚀槽专用的腐蚀支架，实现了图形掩膜图形化的精确控制功能；同时，增加了丙酮槽和氢氟酸腐蚀槽，进一步实现了湿法腐蚀制备图形衬底的工艺在本设备的一体化实现，简化了图形衬底的制备工艺，节约时间、缩短流程。同时，本设备为生产大尺寸图形衬底工艺奠定了坚实的基础。

主权项

一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备，该设备包括：控制单元；图形衬底制备单元；其中，控制单元主要为控制面板，包括：水路系统、风路系统、电力系统和酸腐废液排放系统；所述的控制单元的主要功能为：除对水路、风路、电力和酸排系统地控制外，还对图形衬底制备单元的控制，包括对酸腐蚀以及掩膜腐蚀的温度、时间控制程序设定；清洗模组程序设定，以及对设备辅助功能的控制及酸腐槽超温报警的控制；图形衬底制备单元主要分为：高、低温酸腐模组，图形掩膜制备模组和清洗模组；所述一体化湿法腐蚀设备主要包括如下部件：控制面板；高、低温酸性溶液腐蚀槽；BOE腐蚀槽；去离子水清洗槽；丙酮槽；氢氟酸腐蚀槽；挡板；槽体盖；排风系统；图形掩膜制备用特制腐蚀支架；所述的控制面板，可对每个槽体进行独立操控，可显示每个槽体内液体的温度、腐蚀或清洗的时间；可设定对时间、温度的提醒功能；所述控制面板上设有每个槽体的时间和温度的控制模块及显示模块；所述的高、低温酸性溶液腐蚀槽，把高温酸腐槽和低温酸腐槽放到同一个腐蚀大区，用挡板隔开；高、低温酸性溶液腐蚀槽温度可控为0°～350°；在样品进行图形酸腐时通过精确的控温以降低湿法腐蚀的难度，保证湿法腐蚀图形化衬底时的图形完整性；所述的BOE腐蚀槽，位于另一腐蚀大区的左部；所述的去离子水清洗槽，用以隔开BOE腐蚀槽与丙酮槽、氢氟酸腐蚀槽，能够更好地阻止各腐蚀的反应；其材料内壁平滑，不易挂污物；所述的槽体盖，在所述的每个槽体上配备；所述的电力系统，除了为本发明提供源源不断的电力支持正常运转外，亦可对每个槽体进行独立控制的模组提供与之相匹配的电力控制；所述的排风系统，为负压抽气式排风装置，位于所述设备腐蚀区的上方及后方；可独立控制对风量大小进行调节；所述的水路系统，用于对清洗晶片的、停止湿法腐蚀进程的去离子水的供给和排放；所述的酸腐废液排放系统，用于对高低温酸腐蚀废液、BOE腐蚀废液及氢氟酸腐蚀废液单个的、单独地进行控制排放。