[发明专利]一种多电极线性可调节的MEMS电容器有效
| 申请号： | 201310323560.6 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103440985A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;赵晨旭;李玲 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01G5/18 | 分类号： | H01G5/18;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多电极线性可调节的MEMS电容器，包括介质衬底、电容上极板、电容下极板、第一锚点、第二锚点以及多组控制电极，电容下极板位于第一锚点和第二锚点间，电容上极板位于第一锚点和第二锚点上，第一锚点和第二锚点的高度不同，电容上极板呈倾斜状态，沿电容上极板倾斜下端向上端方向，对多组控制电极逐次加电压，每组控制电极上的电压均由低到高变化，使电容上极板与电容下极板之间的电容值呈近似线性的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 线性 调节 mems 电容器 | ||
【主权项】：
一种多电极线性可调节的MEMS电容器，包括：介质衬底（100）；设置于介质衬底（100）上的电容下极板（300）、第一锚点（401）、第二锚点（402）和多组控制电极，电容下极板（300）位于第一锚点（401）和第二锚点（402）之间，每组控制电极由对称分布于电容下极板（300）两侧的结构相同的a部分和b部分组成，a部分和b部分之间电气连接；以及，位于第一锚点（401）和第二锚点（402）上的电容上极板（200）。
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