[发明专利]一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器有效
| 申请号： | 201310323750.8 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103413681A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;赵晨旭;李玲 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01G5/16 | 分类号： | H01G5/16 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括介质衬底、上极板、下驱动电极、电容下极板及4个对上极板起支撑和固定作用的锚点，上极板的两端部分与下驱动电极相应，中间部分与电容下极板相应，两端部分在下驱动电极的作用下加速向下运动，带动中间部分向上运动，使上极板和电容下极板之间的电容线性减小，电容下极板较厚，下驱动电极较薄，可使可调电容器的初始电容值大、电容变化范围大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 杠杆 结构 mems 线性 可变电容器 | ||
【主权项】：
一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括：介质衬底（1）；设置在介质衬底（1）上的下驱动电极（3）、电容下极板（4）和锚点（5）；以及，设置在锚点（5）上的上极板（2），锚点（5）对上极板（2）起支撑和固定作用，上极板（2）分为中间部分和两端部分，中间部分与电容下极板（4）对应，做上下运动，两端部分分别与一个下驱动电极（3）对应，以锚点（5）为支点做杠杆运动。
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