[发明专利]冷却装置在审

专利信息
申请号: 201310326007.8 申请日: 2013-07-30
公开(公告)号: CN103898453A 公开(公告)日: 2014-07-02
发明(设计)人: 安田淳一;降矢新治;森本秀敏;増田行男 申请(专利权)人: 爱发科低温泵株式会社
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人: 齐永红
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置(RU1)具有冷冻机(2)和由冷冻机冷却的冷却面板(1),使冷却面板的主面(1a)与处理对象(S)接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置在处理室内,在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头(21)与冷却面板接触,通过热传递冷却冷却面板。
搜索关键词: 冷却 装置
【主权项】:
一种冷却装置,具有冷冻机和由该冷冻机冷却的冷却面板,使冷却面板的主面接近或接触处理对象从而冷却处理对象,其特征在于:以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时的冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面与处理对象分离时的冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置为在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中的至少一种时,冷冻机的冷却部与冷却面板接触,通过热传递使冷却面板冷却。
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