[发明专利]具有磁流体平动滑动推力轴承及密封结构的涡旋真空泵

摘要

本发明公开一种具有磁流体平动滑动推力轴承及密封结构的涡旋真空泵。一磁流体密封装置，磁流体密封装置包括永磁体和导磁体；永磁体置于活塞后支座的内部；导磁体置于推力板的内部，同时，导磁体与活塞后支座的径向端面之间的间隙内注有磁流液。使用本发明通过在真空泵的绕动端面采用磁流体密封装置，当曲轴转动时，带动活塞前支座和活塞后支座相对推力板做径向绕动，永磁体和导磁体之间产生封闭磁场，磁流液在凹槽和导磁体之间形成多层封闭的“磁流体O型圈”，利用磁流液实现涡旋真空泵的径向绕动方向的密封。同时，当推力板和活塞后支座的两平面互相接触时，在磁场作用下的磁流液能够产生滑动推力的作用，使得功效近似滑动推力轴承。

主权项

一种具有磁流体平动滑动推力轴承及密封结构的涡旋真空泵，所述真空泵包括：一固定涡卷；一相对所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；一位于所述固定涡卷外的涡卷基座；一与所述涡卷基座面对面相连接的推力板，并且所述推力板的中央开设避空孔；一曲轴，所述曲轴的偏心段贯穿所述推力板的避空孔并与所述绕动涡卷的背面相连接；以及一曲轴基座，所述曲轴位于所述曲轴基座上，并且所述曲轴基座与所述推力板和所述涡卷基座固定连接；其特征在于，所述真空泵还包括：一活塞后支座，所述活塞后支座通过轴承连接于所述曲轴靠近所述推力板的一侧的轴偏心段表面，所述活塞后支座的中央环形凸台可绕动地贯穿所述推力板的避空孔，并通过一活塞前支座与所述绕动涡卷的背面连接；所述活塞后支座的其余部分与所述推力板的径向端面相互靠近，并且所述活塞后支座正对所述推力板的径向端面开设若干等间距的第一环形凹槽；一磁流体密封装置，所述磁流体密封装置包括永磁体和导磁体；所述永磁体置于所述活塞后支座的内部，并且正对若干所述第一环形凹槽；所述导磁体置于所述推力板的内部，并且正对所述永磁体；同时，所述导磁体与所述活塞后支座的径向端面之间的间隙内注有磁流液；优选的，所述导磁体靠近所述磁流液的端面涂覆起到汇聚磁流液作用的厌磁流液涂层，所述厌磁流液涂层为聚四氟乙烯。