[发明专利]一种基于光栅导模共振技术的生物芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于光栅导模共振技术的生物芯片及其制备方法，它包括基底层（1），基底层（1）的上表面是钛薄膜层（2），钛薄膜层（2）的上表面是光栅波导层；制备方法包括步骤1、基底层镀膜，在选取的基底层（1）上镀上一层钛薄膜层（2）；步骤2、清洗，将镀膜后的基底座清洗干净；步骤3、光栅加工，将步骤2清洗干净的基底座加工成阵列的二氧化钛和空气的周期性光栅；步骤4、将步骤3加工好光栅的基底座清洗干净；步骤5、将步骤4加工好光栅的基底座用化学方法镀上低折射率有机物介质；解决了现有技术的生物芯片存在的体积大、成本高、构造复杂，不利用商业化普及或体积虽小、价格便宜，但是存在温度补偿缺点等问题。

主权项

一种基于光栅导模共振技术的生物芯片，其特征在于：它包括基底层（1），基底层（1）的上表面是钛薄膜层（2），钛薄膜层（2）的上表面是光栅波导层。