[发明专利]具有导热装置的坩埚有效
| 申请号： | 201310335428.7 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN103388123A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 邹清华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有导热装置的坩埚，包括：坩埚本体及设置于坩埚本体内的导热装置，所述导热装置呈树状，其包括散热主干及设于散热主干上的数层散热枝干，每层散热枝干包括数个枝干单元，所述枝干单元由所述散热主干的外表面向外延伸设置。本发明的具有导热装置的坩埚，通过在坩埚本体中设置树状导热装置，将热量传递到坩埚本体的各个方向，进而使得在蒸镀时，置于坩埚本体内的有机材料能均匀受热，有效避免现有技术中，由于有机材料受热不均而导致的部分有机材料裂解的现象，有效提高蒸镀效率及蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导热 装置 坩埚 | ||
【主权项】：
一种具有导热装置的坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体（2）及设置于坩埚本体（2）内的导热装置（4），所述导热装置（4）呈树状，其包括散热主干（42）及设于散热主干（42）上的数层散热枝干（44），每层散热枝干（44）包括数个枝干单元（442），所述枝干单元（442）由所述散热主干（42）的外表面向外延伸设置。
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