[发明专利]自动化系统

摘要

本发明公开了一种自动化系统，包括光学字符识别装置、设备自动控制模块和标准机械界面装置，光学字符识别装置获取半导体设备上操作工选择的生产参数信息，并将该生产参数信息传送至设备自动控制模块，设备自动控制模块将该生产参数信息与标准参数信息进行比对，若两者一致，则控制标准机械界面装置将晶圆盒传送至半导体设备上，若两者不一致，则控制标准机械界面装置不动，从而通知操作工进行检查工作，避免了产品进行错误的工艺，也避免了产品的报废或者良率低的问题的发生，进而保证了产品的性能，提高了旧型半导体设备的使用率，提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种自动化系统，应用于不具有通信系统的半导体设备上，其特征在于，所述自动化系统包括：光学字符识别装置、放置有晶圆盒的标准机械界面装置和存储有标准参数信息的设备自动控制模块；所述光学字符识别装置获取所述半导体设备上的生产参数信息，并将所述生产参数信息传输至所述设备自动控制模块；所述设备自动控制模块将接收到的生产参数信息与所述标准参数信息进行比对操作，并将该比对操作的比对信息发送至所述标准机械界面装置；所述标准机械界面装置根据接收到的比对信息将所述晶圆盒传送至所述半导体设备上或者保持所述晶圆盒的初始状态。