[发明专利]一种具有三加热器的蓝宝石晶体生长炉有效
申请号: | 201310340342.3 | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN103469295A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 朱亮;张俊;曹建伟;王巍;沈兴潮 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及晶体生长炉领域,旨在提供一种具有三加热器的蓝宝石晶体生长炉。该蓝宝石晶体生长炉包括采用钨丝编织而成的网状加热器,加热器设有三个,分别为上部加热器、中部加热器和下部加热器,上部加热器和中部加热器分别安装在蓝宝石晶体生长炉的炉筒上部和中部的电极上,下部加热器安装在蓝宝石晶体生长炉的炉底板电极上。本发明在拉制蓝宝石晶体的过程中,可以针对不同的长晶阶段对热场温度梯度的不同需求,通过对三个加热器的功率进行配比,使引晶和长晶过程都得到最优化的温度环境,另外,对于提高晶体生长品质,缩短生产周期,提高成品率,降低能耗都具有显著的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 加热器 蓝宝石 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种具有三加热器的蓝宝石晶体生长炉,包括加热器,其特征在于,所述加热器为采用钨丝编织而成的网状加热器,加热器设有三个,分别为上部加热器、中部加热器和下部加热器,上部加热器和中部加热器分别安装在蓝宝石晶体生长炉的炉筒上部和中部的电极上,下部加热器安装在蓝宝石晶体生长炉的炉底板电极上。
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