[发明专利]压电体元件、压电体设备及其制造方法有效
| 申请号： | 201310340890.6 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103579491A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 末永和史;柴田宪治;渡边和俊;野本明;堀切文正 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/187;H01L41/35 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明涉及压电体元件、压电体设备及其制造方法。本发明稳定地提供高精度地控制压电体层的局部结构(原子的结合状态)并且压电特性优异的压电体元件、压电体设备。一种压电体元件，其为在基板上至少层叠下部电极层、由通式(NaxKyLiz)NbO3(0 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 设备 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电体元件，其特征在于，是在基板上至少层叠下部电极层、由通式(NaxKyLiz)NbO3(0
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