[发明专利]吸附平台有效
| 申请号： | 201310342008.1 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103567914A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 田边雅明 | 申请（专利权）人： | 龙云株式会社 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B25H1/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的吸附平台，其目的在于不使极薄的板片状工件的表面产生凹凸的情况下，整面齐平地加以抽吸。吸附平台（1），以设定于保持面（1A）的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件。本发明的吸附平台具有吸附沟（10）、多个下孔（20）以及多个连通沟（30）。吸附沟（10）形成于保持面（1A）的吸附部，以多个纵向沟（11）及多个横向沟（12）而形成为格子状。多个下孔（20）形成于与保持面（1A）相反侧的面（1B）中对应于吸附部的区域的适当处，且形成在吸附沟（10）的正下方。多个连通沟（30）以与吸附沟（10）大致相同的沟宽，沿着吸附沟（10）形成，连接于多个下孔（20）的各自的上端，使下孔与吸附沟连通。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 平台 | ||
【主权项】：
一种吸附平台，以设定于保持面的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件，其包含：吸附沟，形成于所述保持面上的所述吸附部，通过多个纵向沟及多个横向沟形成为格子状；多个下孔，形成于与该保持面相反的一侧的面中对应于该吸附部的区域处，且形成在所述吸附沟的正下方；以及多个连通沟，以与所述吸附沟实质相同的沟宽，沿着该吸附沟形成，连接于所述多个下孔的各自的上端，使该下孔与所述吸附沟连通。
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