[发明专利]一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置有效
| 申请号： | 201310347476.8 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103419121A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱睿;吴沿鹏;郭隐彪;叶卉 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34;B24B49/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 温度 监控 磁悬浮 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，其特征在于，设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边，抛光盘固于防水罩上端，抛光盘底部设有涡状凹槽，电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝通过导电环与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈之间设有间距且上下对应，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，温度传感器设于工件夹具周边，温度传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
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