[发明专利]一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201310349750.5 | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103440875A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陆伟;黄平 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;G11B5/851 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜及其制备方法，所述薄膜由铁磁性高各项异性L10有序结构的FePt合金薄膜和有B2有序结构的FeRh合金薄膜组成；具体为：利用磁控溅射技术在单晶MgO（001）基板上沉积FeRh合金薄膜，溅射，退火，利用磁控溅射技术继续在沉积有FeRh薄膜的单晶MgO（001）基板上沉积FePt合金薄膜，本发明具有制备简单、性能好等优点，适合应用于具有外延取向的FeRh/FePt合金薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 密度 辅助 记录 ferh fept 双层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜，所述薄膜第一层为铁磁性高各项异性L10有序结构的FePt合金薄膜，第二层为具有B2有序结构的FeRh合金薄膜；两层薄膜之间通过交换耦合相互作用在一起，FeRh合金薄膜中Fe、Rh原子比为1：1，FeRh薄膜厚度为10nm~50nm；FePt合金薄膜中Fe、Pt原子比为1：1，FePt薄膜厚度为10nm~50nm。
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