[发明专利]一种太赫兹气体传感器

摘要

本发明提供了一种太赫兹气体传感器，包括一个第一金属板和一个第二金属板，两个金属板平行设置，两个金属板之间设置有缝隙，两个金属板的中心分别设置有一个凹槽，两个凹槽相对设置，两个金属板设置在一个箱体中，两个金属板和箱体紧密连接，与两个凹槽相邻的箱体的两个密封板中分别设置有一个孔，孔和缝隙相连通。在低阶横电（TE1）模式下，电磁波的偏振方向平行于平行板平面，气体通过密封板上的一侧小孔进入两板之间，另一侧小孔将板内气体排出，对待测气体进行检测。本发明不仅实现对气体的检测，而且对气 体具有较高的敏感性。

主权项

一种太赫兹气体传感器，其特征在于：包括一个第一金属板和一个第二金属板，所述的第一金属板和所述的第二金属板平行设置，所述的第一金属板和所述的第二金属板之间设置有缝隙，在所述的第一金属板的中心设置有一个第一凹槽，所述的第一凹槽沿着所述的第一金属板的长度方向设置，在所述的第二金属板的中心设置有一个第二凹槽，所述的第二凹槽沿着所述的第二金属板的长度方向设置，所述的第一凹槽和所述的第二凹槽相对设置，所述的第一金属板和所述的第二金属板设置在一个箱体中，所述的第一金属板、所述的第二金属板和所述的箱体紧密连接，与所述的第一凹槽和第二凹槽相邻的所述的箱体的两个密封板中分别设置有一个孔，所述的孔和所述的缝隙相连通。