[发明专利]一种高效多晶硅锭铸锭炉无效
| 申请号： | 201310357941.6 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103397379A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 林洪峰;冯媛;李书森;刘兴翀;兰洵;龙巍;赵秀生 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高效多晶硅锭铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）内的隔热笼体（2）、设置在隔热笼体（2）内的石英坩埚（4），石英坩埚（4）底面贴附有底板（6），底板（6）主要由至少2种不同导热系数的板体构成，导热系数小的板体嵌套在导热系数大的板体内部。本发明技术方案带来的有益效果在于：通过改变侧部加热器上下各部位的热量供应能力和坩埚四周护板、底板与DS散热块各部位的热传导能力，可以有效控制铸锭炉内部的温场分布，改善熔化和长晶界面中心上凸现象，使固液界面趋于平坦，且有利于长晶过程中杂质的排出，从而产出杂质含量少、晶粒相对均匀的高效多晶硅锭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 多晶 铸锭 | ||
【主权项】：
一种高效多晶硅锭铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）内的隔热笼体（2）、设置在隔热笼体（2）内的石英坩埚（4），其特征在于：石英坩埚（4）底面贴附有底板（6），底板（6）主要由至少2种不同导热系数的板体构成，导热系数小的板体嵌套在导热系数大的板体内部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天威新能源控股有限公司，未经天威新能源控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310357941.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
