[发明专利]使用光处理来制造太阳能电池的装置和方法

摘要

本发明涉及了一种使用光处理来制造太阳能电池的装置和方法，该光照装置包括与沉积处理系统中的其他处理相分开的壳体，在沉积处理系统中沉积正面接触层之后用于将衬底上的太阳能电池运送到壳体中的传送机构，以及一个或多个被配置为在沉积正面接触层之后向太阳能电池施加光照的光源元件。一种制造太阳能电池的方法包括在玻璃衬底上形成背面接触层，在背面接触层上形成吸收层，在吸收层上形成缓冲层，以及在缓冲层之上形成正面接触层，玻璃衬底，背面接触层，吸收层，缓冲层以及正面接触层形成第一组件。该方法包括在形成正面接触层之后并且独立于其他处理而向第一组件施加光源。

主权项

一种用于形成太阳能电池的光照装置，包括：壳体，与沉积处理系统中的其他处理部件相分开；传送机构，在所述沉积处理系统中沉积正面接触层之后用于将衬底上的太阳能电池运送至所述壳体中；以及一个或多个光源元件，位于所述壳体内并且被配置为在沉积所述正面接触层之后对所述太阳能电池施加紫外光照，所述一个或多个光源元件发出光能大于3.1eV并且主光源波长小于400nm的紫外光；所述正面接触层包括透明导电氧化物层，所述一个或多个光源元件根据所述透明导电氧化物层的性质以及受到辐照的结构的性质提供不同的光能。