[发明专利]用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置有效
| 申请号： | 201310360623.5 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103439865A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 林栋梁;马兴华;任冰强;程伟林;张友宝;钱珍梅;屈建峰;孙征宇;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与系统的光轴垂直，四个刀口中间形成的开口即为扫描狭缝。本发明既能实现最大行程内的平面任意范围的高精度二维扫描，又能保证两维方向上的扫描刀口共面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 步进 扫描 光刻 狭缝 装置 | ||
【主权项】：
一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，其特征在于由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与系统的光轴垂直，四个刀口中间形成的开口即为扫描狭缝。
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