[发明专利]多次可编程的内存

摘要

本发明涉及多次可编程的内存，所揭露的是一种装置。本装置包括基板及置于基板上的鳍型结构。鳍型结构作用为n个晶体管的共享基体。晶体管包括单独电荷储存层与栅极介电层。电荷储存层设置于鳍型结构的上部表面以及栅极介电层设置于鳍型结构的侧壁上。n=2x，其中x为大于或等于1的整数。晶体管可在选择晶体管与储存晶体管之间互换。

主权项

一种内存装置，包含：基板；以及设置在该基板上的鳍型结构，该鳍型结构作为n个晶体管的共享基体，其中，n＝2x，x为大于或等于1的整数，各该晶体管包含设置在该鳍型结构两侧的栅极电极；单独的电荷储存层，设置于该鳍型结构的上部表面以及具有与该栅极电极呈共面的上部表面；以及设置于该鳍型结构以及该电荷储存层的侧壁上的二个栅极介电层，其中，晶体管能在选择晶体管与储存晶体管之间互换，以及该栅极电极由该鳍型结构、该电荷储存层以及该等栅极介电层所分开。