[发明专利]薄膜吸附设备

摘要

一种薄膜吸附设备包含支撑座、第一通道、第二通道与泵。支撑座具有吸附面。第一通道贯穿支撑座。第一通道具有第一开口与第二开口，且第一通道的第一开口位于吸附面。第二通道贯穿支撑座。第二通道具有第一开口与第二开口，且第二通道的第一开口位于吸附面。泵连通于第二通道的第二开口。当一薄膜放置于吸附面并覆盖第一通道的第一开口及第二通道的第一开口时，泵抽气以驱动一气流从第一通道的第二开口流入并通过吸附面与薄膜的间隙，以吸附薄膜。

主权项

一种薄膜吸附设备，其特征在于包含：一支撑座，具有一吸附面；一第一通道，贯穿该支撑座，该第一通道具有一第一开口与一第二开口，且该第一通道的第一开口位于该吸附面；一第二通道，贯穿该支撑座，该第二通道具有一第一开口与一第二开口，且该第二通道的第一开口位于该吸附面；以及一泵，连通于该第二通道的第二开口；其中当一薄膜放置于该吸附面并覆盖该第一通道的第一开口及该第二通道的第一开口时，该吸附面与该薄膜的间隙连通该第一通道的第一开口与该第二通道的第一开口，该泵抽气以驱动一气流从该第一通道的第二开口流入并依序通过该第一通道的第一开口、该吸附面与该薄膜的间隙与该第二通道的第一开口，以吸附该薄膜。