[发明专利]掩模板清洗器有效
| 申请号： | 201310364797.9 | 申请日： | 2013-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN103406301A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模板清洗器，包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，清洗槽设置有用于冷却清洗液的冷却管，掩模板浸泡于清洗液中；漂洗槽内盛装有漂洗液，掩模板清洗后，浸渍于漂洗液中漂洗；干燥装置用于将漂洗后的掩模板风干。本发明可以有效减少清洗液的损耗，从而降低清洗成本。而且，在清洗的过程中，本发明采用机械手对掩模板进行转运，可实现清洗过程的连续化和自动化控制，提高了清洗效率，并进一步降低了清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 清洗 | ||
【主权项】：
一种掩模板清洗器，其特征在于：包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，所述料台适于装载掩模板，所述清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，所述清洗槽设置有用于冷却所述清洗液的冷却管，所述掩模板浸泡于所述清洗液中；所述漂洗槽内盛装有漂洗液，所述掩模板清洗后，浸渍于所述漂洗液中漂洗；所述干燥装置包括干燥室和鼓风机，所述鼓风机通过管道向所述干燥室内通入无尘空气，使漂洗后的掩模板干燥。
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